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足够的通风换气量是为了稀释和排除室内污染空气,根据不同的洁净度要求,当洁净室净高较高时,适当增加换气次数。其中,100万级洁净室的通风量是按高中效净化系统考虑,其余均按净化系统考虑;当10万级洁净室高效过滤器集中布置在机房或系统末端采用亚高效过滤器时,可适当提高换气次数10-20%。
美国联邦标准(FS209A~B)在1987年10月27日之前一直这样规定:单向流洁净室通过洁净室截面的气流速度通常保持在9Oft/min(0.45m/s),在整个房间无干扰的条件下,其速度不均匀度在士20%以内,气流速度任何明显的下降都会增加自净时间和工作位置之间污染影响的可能性(1987年10月FS209C颁布之后对含尘浓度以外的所有参数指标均未作规定)。
在编制我国空气洁净技术措施时曾调查测定了国内100多个洁净室,许多洁净室还是在动态下检测的,结果表明:10万级≥10次/h、1万≥20次/h、1000级≥50次/h通风量即可满足要求。
美国联邦标准(FS2O9A~B)规定:非单向流洁净室(10万级、1万级),室高8~l2ft(2.44~3.66m),通常考虑全室至少每3分钟换气一次(即20次/h)。因此,设计规范的规定已经考虑了较大的富裕系数。