半导体工业制造过程中无尘车间占据多大的影响力

发布时间：2023-12-08 08:18:41 浏览量：168

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所谓的无尘车间是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境（无尘车间）洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。

半导体工业是极*密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。

为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程应该在无尘车间内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资，多因为需要一个无尘车间。而且为保持无尘车间的洁净度，进出的人员有一定的穿著规定；10000与100000级，应该穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩；1000级（含）以上，需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住，并带上手套和面罩。

依据美国联邦政府颁布的标准【FederalStandard（FS）209E,1992】，可将无尘车间分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘车间的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5?m，例如，1级、10级、100级无尘车间**大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5?m，无尘车间等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2?m（尘粒尺寸在0.2?m或更大下，密度不大于75颗/立方英?），1级在0.1?m（尘粒尺寸在0.1?m或更大下，密度不大于35颗/立方英）。而集成电路制造所需的无尘车间之洁净度应该优于1000级。