山东洁净室末端高效过滤器的检漏方法

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高效过滤器主要过滤0.3um(微米)的细小颗粒，因此广用于电子、半导体、*密机械、生物制药、医院、食品等各行各业中对空气洁净度要求较高的民用或工业洁净工程。洁净室安装竣工后检测必不可少，洁净室工程检测项目比较繁多，例如洁净度检测、风量检测、压力检测、噪音检测、照度检测、地板静电系数检测等。

本文为大家介绍的就是洁净度检测项目里面的其中一项：高效过滤器检漏。高效过滤器对检漏的要求：被检过滤器应检测过风量并在设计风量的80%~120%条件下运行。被检过滤器上游的粒子浓度被检过滤应满足下列要求：对受控粒径≥0.5μm的浓度，应不小于3.5x104pc/L对受控粒径≥0.5μm的浓度，应不小于3.5x104pc/L检漏方法：用粒子计数器对安装的接缝和主断面进行扫描检漏。检漏点应距离被检表面20~30mm。

扫描的速度5~20mm/s，扫描检漏的部位为过滤器整个断面，封头胶，安装框架等处。扫描检漏用的粒子计数器的**小采样量应大于1L/min。合格标准：被检过滤器下游的粒子浓度换算成穿透率，高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的两倍。