净化车间温湿度等级要求

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净化车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，**应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，净化车间应该达到一定的温湿度等级。

例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。净化车间净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或***磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以应该有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种净化车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却(cooling)水管壁上会结露，如果发生在*密装置或电路中，就会引起各种事故，相对湿度在50%时易生锈。

对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)，净化车间压力差的维持一般应符合以下原则：

1.洁净度**高的空间的压力要高于相邻的洁净度**低的空间的压力。洁净室车间净化工作原理为当控制器接通电源时，油雾分离器口产生强大的静压迫使油雾被定向吸入油雾分离器内。在油雾分离器内风轮的作用下发生碰撞，使微小的颗粒集合成能被控制的小颗粒，在吸雾材料的阻挡下实现空气与水的分离。

2.相通净化车间之间的门要开向洁净度**高的房间。

3.车间的压力要高于非洁净空间的压力。净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或***磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。

压力差的维持依靠新风量(定义:单位时间内空气的流通量)，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。